Diseño del conjunto de espejo de escaneo SIC de peso ultra ligero

Estructura posterior del espejo de escaneo de peso ultraligero

El cuerpo del espejo estaba hecho de carburo de silicio y la estructura de soporte estaba hecha de acero de indio. La rigidez de soporte y la precisión de la superficie del ensamblaje del espejo de escaneo se simulan y analizan mediante análisis de elementos finitos y se verifican mediante pruebas reales.

Modelo de elementos finitos del ensamblaje del espejo de escaneo

Los resultados muestran que el valor máximo de cuadrado de raíz (RMS) del error de forma del espejo de escaneo es de 9.705 nm, el resultado de la prueba real 10.125 nm, el error es del 4% y cumple con el requisito de que el valor RMS debe ser inferior a 12.6nm en El caso de la gravedad en todas las direcciones y el par del eje impulsado.

Resultado de la prueba de precisión de la superficie

La frecuencia natural de primer orden del componente fue de 302.25Hz, lo que cumplió con los requisitos de rigidez. Los resultados muestran que el método propuesto es razonable y efectivo, lo que resuelve el problema de que la estructura de peso ultraligero y la rigidez estructural y la precisión de la superficie óptica son difíciles de garantizar al mismo tiempo.

Ensamblar el espejo

Basado en el principio de manga de cono y bisagra flexible, se propone un conjunto de espejo de escaneo con respaldo integrado. Los principales parámetros del enlace flexible se determinan mediante simulación numérica y cálculo iterativo, que proporciona referencia técnica para la optimización de parámetros de la estructura de soporte flexible.