Tecnología de procesamiento de espejo asférico de metal

Los espejos de metal se pueden diseñar completamente livianos, y la instalación y ajuste de integración mecánica óptica se pueden diseñar para simplificar la estructura del respaldo del espejo.

Los materiales metálicos generalmente se obtienen mediante fundición. Los materiales metálicos tienen una buena conductividad térmica, un coeficiente de expansión relativamente grande, y se ven fácilmente afectados por la temperatura. Sin embargo, los materiales metálicos tienen las ventajas de una buena tecnología de procesamiento y un corto tiempo de adquisición. Comúnmente usamos en el sistema óptico son el espejo asférico de aluminio y el espejo asférico de aleación NI-P.

Los puntos clave de la tecnología de procesamiento:

1. El giro de diamantes de punto es un proceso indispensable e importante para el procesamiento de espejo de metal. La tecnología de giro ultra precisión (tecnología STDP) utiliza herramientas de giro de diamantes para realizar la eliminación de material determinista en los espejos de metal giratorios. Después de girar, la precisión de la superficie se puede alcanzar mejor que λ/10 (λ = 632.8 nm), y la rugosidad de la superficie puede ser mejor que 2 nm. Como muestra la imagen a continuación.

2. Aunque el espejo de metal puede obtener una mejor precisión y rugosidad de la superficie después de girar, debido al principio de girar, habrá marcas de herramientas de giro en la superficie del espejo de metal, incluso si es invisible a simple vista, causará cierto daño al sistema óptico. Por lo tanto, después de girar, la superficie necesita ser pulida. Algunos espejos de metal serán capas recubiertas en sus superficies (como espejos de aleación BE-al, espejos nacionales 6061 , etc.), y luego se pulirán después del recubrimiento. Como muestra el siguiente proceso.

3. La dureza de los espejos de metal es relativamente bajo, y los rasguños son fáciles de ocurrir en la superficie durante el proceso de pulido, que también puede acelerar la oxidación de la superficie. Es difícil lograr una buena superficie de espejo, y una solución común es hacer un recubrimiento de metal en la superficie. Se debe tener en cuenta la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato del espejo y la capa modificada para evitar el efecto bimetálico (después del recubrimiento, la precisión de la superficie del espejo cambia con la temperatura). El proceso de recubrimiento de la superficie del espejo de metal comúnmente utilizado es la capa Ni-P que tiene densidad uniforme y alta dureza. Después del pulido, se puede lograr la precisión y rugosidad de la superficie de alta precisión.

4. Después del giro de diamantes de un solo punto del espejo de metal, la precisión de la superficie y la rugosidad son relativamente altas, y puede ingresar directamente a la etapa de prueba interferométrica. Según el diseño de la ruta óptica de prueba, el interferómetro láser, el holograma generado por computadora (CGH) y el marco de ajuste están dispuestos para pruebas interferométricas. Después de que la precisión de la superficie cumple con los requisitos (por ejemplo, λ1/50, λ = 632.8nm), el espejo puede recubrir y entregar.