Fabricación del espejo asférico SIC de 720 mm

3. PULICIÓN DE ENCENDIDO: El pulido en bruto mejora aún más la rugosidad de la superficie y la precisión de la superficie de los espejos asféricos SiC de apertura más grandes. Las cabezales de molienda pequeñas CNC todavía se usan para el pulido aproximado, y la última etapa MRF-Magnetorheological Finishing también está involucrada. Después del pulido aproximado, la superficie del espejo ingresa a la etapa de metrología de interferencia y puede ingresar a la etapa de recubrimiento de SI después de que el valor RMS de precisión de la superficie sea mejor que 1/10 λ.

4.Si recubrimiento: el espejo material en blanco de un espejo asférico SIC de gran apertura a menudo utiliza material SiC sin interrupciones de reacción, que tiene una densidad ligeramente menor en comparación con el material SiC sin interés de presión. Para mejorar la reflectividad del espejo asférico SIC de apertura más grande, se plantea una capa de Si en la superficie del espejo para mejorar la densidad de la superficie.

5. PUDIDO FINE: Después de la modificación, el espejo asférico SiC de apertura más grande entra en la etapa de pulido fino. CNC pequeñas cabezas de molienda, pulido de la vuelta al estrés y el acabado MRF-magnetorheological a menudo se usan en la etapa inicial del pulido fino para eliminar la capa relativamente suelta en la superficie modificada. Más tarde, se utilizan pequeñas cabezas de molienda CNC, junto con la calificación del haz de iones, para refinar la precisión de la superficie a los requisitos de diseño. En la actualidad, la precisión de la superficie de los espejos asféricos SIC de apertura más grandes se puede procesar a un valor RMS de diámetro completo mejor que 1/60 λ o incluso mejor.

Después de varios años de acumulación técnica, MG-Optics actualmente tiene la capacidad de desarrollar todo el proceso de espejo asférico sic de gran apertura. Se ha completado un conjunto de espejo asférico SIC de gran apertura de 720 mm de diámetro con un valor RMS de diámetro completo de precisión final mejor que 1/60 λ.